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相关的机械性能与沉积类金刚石碳薄膜的表面形态由等离子体增强化学汽相沉积技术

文摘

钻石像碳(DLC)薄膜沉积在玻璃基板采用射频等离子体增强化学汽相沉积技术与射频功率的变化。沉积DLC膜通过使用氩和乙炔等离子体,在压力5×10 - 2 mbar 60分钟。各种属性如表面形态、疏水性、nanohardness和结构属性是使用原子力显微镜,研究了接触角测量设置,分别nano-hardness测试仪和拉曼光谱仪。雷竞技网页版系统的表面形态的变化与射频功率已被观察到。已经观察到电影的形态与硬度,sp3内容、粗糙度、接触角。雷竞技网页版使用拉曼光谱观测结果解释。

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