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深紫外激光烧蚀技术综述

摘要

烧蚀激光技术已成功地应用于科学应用，特别是用于评估材料的均匀性和深度剖面样品，以获得地下水平的元素分布。脉冲微束以精确的精度打击目标，并在空间和衬底中产生微量元素信息。对样品的不同地层进行探测，可以得到样品基质中深层杂质的数据。当隐藏的杂质会对某些样品(如半导体或生物医学样品)的性能产生影响时，这一点尤其重要。不完美的陨石坑形成、不稳定的能量脉冲和光束能量不可预测的漂移等随机效应可能会显著影响研究应用的结果。这些技术特性由复杂的软件控制，在稳定仪器方面起着显著的作用。样品在本质上通常是非均质的，例如岩石、储层岩心和混凝土结构，因此，样品的非均质性是阻碍采用常规方案进行技术标准化的一个因素。软性样品如凝胶和蜡可以在特殊条件下进行标准化。然而，该技术在很大程度上是半定量的固体，对于探索固体目标的均匀性特别有吸引力，这反映了样品基质中元素分布的水平。激光装置与珀金埃尔默ICP-MS仪器耦合，保持一致的操作参数对于准确和可重复的结果至关重要。 The laser beam wavelength is in the deep UV region and the system is operated with a beam of 213 nm of variable diameter between 5-100 μm, gas flow of 0.8 L/min, energy pulse rate of 60 MHz, and beam energy between 30-60%. Compared to other current instrumental techniques, ablative laser technology is superior for depth-profiling and surface analysis.

皮莱，斯蒂芬，埃尔卡迪，武库西奇

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