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阐述了单晶太阳能电池钝化过程中碳含量对硅碳合金性能的影响

摘要

采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在低功率条件下，通过不同碳含量(x)的硅烷(SiH4)和甲烷(CH4)的分解制备了氢化非晶硅碳合金薄膜，碳含量限制在0

Salwa Merazga*， Aissa Keffous, Abdelhak Cheriet, Khadidja Khaldi, Michel Rosso, Mohamed Kechouane和Noureddine Gabouze

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