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辉光放电电子枪

文摘

在目前的工作中,我们表现出直流辉光放电的实验结果电子枪源(DCEG)和他们的连续发展电子束能量低于5 keV和高强度光束几十微安在某些应用程序中使用。一种新型的直流辉光放电电子枪的开发和修改改进治疗供应低功率和高电子电流密度的应用程序。这个电子源的工作条件异常辉光放电。最好的工作条件被发现在排气压力范围的身手mbar尤其和阴极和阳极之间的间隙距离= 3毫米和磁盘的聚四氟乙烯绝缘直径5毫米,最后,阴极退出和器之间的距离(聚焦电极)= 4毫米。内部和外部操作特征(放电和离子束电流输出)研究了在这个最佳距离使用氢气,氮气和空气气体。最后,辉光放电电子枪是用作制备工具表面的聚对苯二甲酸乙二醇酯宠物聚合物基质准备涂层或薄膜沉积。原始的宠物是透明的,它的表面是光滑的

弗兰克-威廉姆斯阿卜杜勒萨拉姆、MM Abdel Rahman和巴苏

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