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基于MEMS技术的压电传感器人体能量采集

摘要

设计了一种基于微机电系统的螺旋形压电换能器，用于人体行走运动的能量采集。为了获得最大位移，将人体行走所获得的扭矩施加于螺旋形压电换能器上。为了降低结构的脆性，设计了一种双晶螺旋形压电换能器。对不同类型和不同尺寸的金属进行了有限元模拟。采用镍衬垫层和PZT-5H衬垫层的双晶螺旋型压电换能器，在150 Nm的扭矩下，最大位移为6.1858 × 106 μm。

Queeni Sunder, Bakialakshmi

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