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模拟光学MEMS压力传感器

抽象性

论文解释了基于MEMS技术的光压传感器,该传感器测量压力精度和微分化设计。设计由光学感应膜组成,膜变形量直接计算压力设计使用COMSOL软件构建论文还展示COMSOL带输入输出端口频域分析能力

T.SripriyaJeyalakshmi博士

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