研究文章雷竞技app下载苹果版

应变硅器件:机制和应用

文摘

应变硅设备最重要的一个技术增强剂进一步Si互补金属氧化物半导体的发展。通过应用适当的流动性增强应变提供更高的电荷载体速度MOS渠道,导致更高的电流输出在一个固定的供应电压(V)和栅氧化层厚度(毒药)。流动性增强的机理,应变的方法生成、挑战和缺点,改进和应变硅器件的关键问题及其应用先进的超大规模集成设备进行了综述。

Sandeep Khichar、达Paptan Sukoon Mishra Akriti Singhal

阅读全文下载全文|访问全文