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研究射频源与阻抗匹配网络点火系统射频驱动H -离子源

文摘

本文的研究基于6.78 MHz射频源与阻抗匹配网络电感耦合等离子体发生器点火系统的H -离子源。两种类型的10把射频天线(电磁线圈)开发,对射频功率对等离子体点火室。天线的电参数测量用矢量网络分析仪(VNA)。3 x 4毫米大小的铜导体10把电磁线圈被选为仿真和实验样机的天线。两个l型(创新领导力和拼箱C-capacitor和Linductor)匹配网络被选为射频天线阻抗匹配网络。进行初步模拟使用埃尔希和LT-spice从5到8 mhz频率范围。匹配网络和射频天线匹配~ 50Ωimpedance 6.78 MHz,电容性质。实验原型射频功率源,10天线(线圈)和匹配网络开发验证仿真结果。原型点火系统以及阻抗匹配网络CCL l型与检测电感耦合等离子体氢生成和实验结果。氢等离子体代开始至少天线耦合功率150瓦,一旦发起氢等离子体保持到最少10瓦的功率。

d . v . Ghodke Rashmi Patel v . k . Senecha Papiya Dutta Ranjan Kumar B.K. Arya和s . c,乔希

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