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扫描电镜下材料的热影响行为。蒙特卡罗和分子动力学混合模型

文摘

扫描电子显微镜(SEM)提供了一种方便的方法来提供在微纳米尺度结构信息。然而,温度上升由于电子轰击在SEM分析一直是令人担忧,因为这可以修改SEM的结果,尤其是在纳米结构。定量理解温度升高的SEM分析,一个混合模型,分子动力学结合蒙特卡罗方法,。一些参数的影响,如加速电压、一次电流和扫描时间进行了研究。由此产生的温度曲线在半导体材料和假想的磷灰石颗粒表明最高温度增加表面附近,紧随其后的是一个连续的温度下降从表面深度的函数。

Abdelkader Nouiri

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