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V2O5纳米二氧化碳气体传感装置

文摘

在本文中,基于氧化钒薄膜的气体传感装置(V2O5) /多孔硅(PS) / Si结构被用来检测二氧化碳气体在不同浓度。无定形和结晶五氧化二钒(V2O5)薄膜生长到monocristalline硅和多孔硅基板采用浸涂法。氧化钒已从钒alcoxide前体。不同的结构基于V2O5 /多孔Si / Si已经意识到,研究。电流电压(电流-电压)特征表明,该传感器属性被修改由于二氧化碳气体的存在。结构敏感性增加潜力和二氧化碳的浓度增加。此外,展览结构快速响应和32 s恢复时间。结果承诺自测量相比,响应和恢复时间降低了CH / PS / Si结构。

K Ayouz-Chebout * R Tala-Ighil K Mhammedi,山姆和N Gabouze

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