ISSN: 2321 - 6212
Xiyue周、刘Yucen Guowen叮
De Anza大学,加州,美国
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DOI:10.4172 / 2321 - 6212 c1 - 012
基于银基、锡薄膜的玻璃涂层厚度纳米广泛应用在今天的energyefficient建筑窗户。然而,没有Ag-Ti合金薄膜涂层光学镀膜应用报道。在这项研究中,从10到40 nm Ag-Ti合金薄膜是由co-sputter技术在磁控溅射沉积系统有三个溅射靶枪在一个高真空室。室基础压力4 x10-7托,电影都需要在3毫托。Ti比例的Ag AgTi合金是由两个独立控制的脉冲直流电源供应商,从50 w到200 w在溅射沉积。Ag-Ti合金单一薄膜折射率(n, k)是衡量Woollam椭圆计结合日本岛津公司3700年UV-Vis-NIR光谱仪(300 nm - 2500 nm),和新型纳米薄膜材料的光学性质Ag-Ti合金是第一次报道。合金Ag-Ti折射率是强烈依赖于其电阻率,电阻的测量计算的四探针和膜厚度测量椭圆计。室的第三个目标是Si目标,用于反应溅射薄膜氮化硅沉积的Si目标下Ar-N2混合气体在3毫托。薄膜叠氮化硅/ Ag-Ti /氮化硅玻璃光学性能的模拟优化指导实验和透光率(40纳米氮化硅/ 20 nm Ag-Ti / 12纳米氮化硅/玻璃)玻璃可能是40% ~ 50%,和那些表演与今天许多节能窗产品市场上,另一方面,这种tri-layer简单叠加显示的潜在好处更低的生产成本。
Xiyue周和刘Yucen De Anza学院学生,加州,美国。他们使用了现代纳米薄膜沉积研究系统研究新型导电材料,这些新材料的光学性质特征,这是第一个报告,和其他可以用光学应用程序;丁博士的指导下,他们使用这些新材料开发新的节能窗户原型产品。