带金块的CMOS-MEMS加速度计及其在帕金森病诊断中的应用

4^th凝聚态与材料物理国际会议“，

2018年8月16日-17日|英国伦敦

马苏和也、山根大辅、伊藤博之、町田克之、张宗福、曾根正人和三宅义弘

东京工业大学，日本

ScientificTracks抽象:Res. Rev. J Mat. science

DOI:10.4172 / 2321 - 6212 c2 - 017

摘要

本文介绍了高灵敏度互补金属氧化物半导体微机电系统(CMOS-MEMS)金证明质量加速度计及其在帕金森病诊断中的应用。CMOS-MEMS加速度计的特点是使用了黄金质量证明。高密度的黄金使我们能够通过降低与证明质量成反比的热机械噪声来提高灵敏度。然后展示了所开发的CMOS-MEMS多物理场设计环境。设计了一个MEMS加速度计的等效电路，以同时理解机械和电学行为。高灵敏度加速度计的潜在应用之一还讨论了帕金森病的早期诊断。最新出版物K Machida et al.(2014)集成CMOS-MEMS技术及其应用。生态学报，61(6):21-39。2. D Yamane et al. (2014) Design of sub-1g microelectromechanical systems accelerometers. Appl. Phys. Lett. 104(7):074102. 3. T Konishi et al. (2014) A capacitive CMOS-MEMS sensor designed by multi-physics simulation for integrated CMOSMEMS technology. Jpn. J. Appl. Phys. 53(4S):04EE15. 4. C Y Chen et al. (2016) Pulse electroplating of ultra-fine grained Au films with high compressive strength. Electrochemistry Communication. 67(C):51-54.

传记

Kazuya Masu获得日本东京工业大学(Tokyo Tech)电子工程学士、硕士和博士学位。1982年起担任东北大学助理教授和副教授。2000年，他搬到东京工业大学。他目前是同一所大学的教授和创新研究所所长。他于2002年和2005年分别担任美国佐治亚理工学院客座教授。他于2004年获得IEICE电子学会奖，2013年获得IEICE成就奖，2014年获得IEEJ杰出成就奖。2014-2015年，他担任JSAP副总裁。他是JSAP研究员、IEEJ研究员和IEICE研究员。

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