Cu2O薄膜从措电影获得治疗下氩/空气干燥,微波等离子体

14^th在材料科学与工程国际会议和展览

2017年11月13 - 15,|拉斯维加斯,美国

m·a·Badillo-Avila g . Torres-Delgado r . Castanedo-Perez j . Marquez-Marin和o . Zelaya-Angel

Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados del I.P.N.、墨西哥

海报和接受抽象:启J垫。Sci >

DOI:10.4172 / 2321 - 6212 c1 - 012

文摘

Cu2O太阳能电池是一种很有前途的材料,然而,它的合成通常是复杂的。纯Cu2O薄膜可以从措电影获得使用氩/干燥的空气等离子体处理。错了是一种亚稳态金属铜Cu2O容易氧化。根据不同的工艺条件,Cu2O的微晶尺寸可以增加和控制。不同组的措样本,通过溶胶-凝胶沉积在玻璃上,在不同温度下退火(TA),从350°C到550年。获得Cu2O,措薄膜治疗15、20、25到30年代,在一个氩/干燥的空气等离子体。治疗发生在低压(15 mbar),在一个石英室自制设备组成的1500 W微波炉修改为这个目的。样本放在一个陶瓷板,允许衬底双方接收相同的等离子体处理。通量的氩(60 SSCM)和干燥的空气(60 SCCM)质量控制的控制器和连续注入之前,期间和之后的等离子治疗。根据措电影的助教、气体流量和时间的等离子体处理,Cu2O、铜或两者的混合物。 Interestingly, pure Cu2O was produced only from a metastable form of metallic copper and only after the plasma treatment, this by oxygen availability. To our knowledge, this phenomenon has not been reported before. CuO annealing temperatures showed that Cu2O crystallite sizes tended to be bigger when lower TA‘s were used; wide variations in crystallite size were observed. Pure Cu2O films of 100 nm in thickness with bandgap of 2.17 eV were obtained by a plasma treatment of 30 s. Some of the advantages of this plasma processing are its simplicity, short time of treatment and, low cost of the home-made equipment.

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