基于电子对偶特性的等离子体生成模拟工具的开发

22^nd先进材料与纳米技术国际会议

2018年9月19日至21日，日本东京

Shinichiro Kitamoto和Petros Abraha

明治大学，日本

海报和接受的摘要:Res. Rev. J Mat. science

DOI:10.4172 / 2321 - 6212 c4 - 024

摘要

本研究提出了一种模拟工具的发展，表征和优化基于电子对偶特性的新型等离子体器件的等离子体特性。该设备是专门为生产均匀的大体积等离子体而量身定制的，可以硬化大尺寸或大批量机械零件的表面。薄的氮化层是由间质氮原子扩散到几十微米到大块材料中形成的。评估等离子体装置在获得均匀和大体积处理材料方面的性能，除了等离子体诊断外，还需要大量的实验工作、建模和数值模拟。在本研究中，考虑了等离子体产生的原理和等离子体装置的工作条件，构建了等离子体参数与等离子体大小和均匀性之间的定性关系的模拟工具。建立了粒子区、波区和粒子区三个连续区域的数值模拟，给出了总体框架。在这两个粒子区域，采用了粒子单元法和蒙特卡罗合谋法来确定粒子在等离子体腔内的能量和位置。而在波区，利用菲涅耳理论确定衍射电子强度分布。结合粒子区和波区的结果，从整体上确定了器件的等离子体特性。

传记

Shinichiro Kitamoto已经完成了Meijo大学机械工程学院的学士学位，目前正在Meijo大学机械工程学院攻读毕业学位。

电子邮件:(电子邮件保护)

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