金刚石生长在空气中在室温下在¡VD-grown pseudo-graphite电影

4^th国际会议在凝聚态物理学和材料

2018年8月16 - 17日|伦敦,英国

阿,我Shmytko V Misochko K和S Brantov

固体物理研究所- RAS,俄罗斯

海报和接受抽象:启J垫。Sci >

DOI:10.4172 / 2321 - 6212 c2 - 018

文摘

已经尝试开发一个简单的类金刚石薄膜和快速生产技术通过甲烷热解化学气相沉积(СVD)在1270 - 1420 K ~使用一个简单的反应细胞的形式电容器。电场的影响下~ 10 V /μmсarbon浓缩到单晶硅基板放置电容器石墨板之间。然而,类金刚石薄膜的应用这种技术我们获得,pseudo-graphite电影与石墨化指数≈0.44。电影非常脆弱,很容易地在一个玛瑙研钵与晶粒尺寸的沙粒几十纳米和微硬度与证明钻石(~ 70 - 90 GPа)。他们还表现出明显的纹理的方向电影正常与石墨c-axis和由nanocrystallites平均大小 ≈7海里。此外,电影是高度不均匀与当地晶格参数变化Δc≈0.22Ǻ(Δc / c≈ε= 3.15%)。~ 2年后这部电影在一个正常的气氛在室温下发生了相当大的,在我们看来,独特的变化。研究电影通过XRD、拉曼光谱和扫描电镜方法表明,老化的结构已经改变了。主要产品的交互电影的气氛是硬质合金硅和碳微晶金刚石的高的形式完美,看到fig.1-b。机制重建pseudo-graphite电影到碳化硅和金刚石进行了探讨。

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