金属硅接触的形成及其纳米润湿雷竞技网页版层的作用

4日联合活动^th结晶学与新材料国际会议^th生物聚合物与聚合物科学国际会议

2018年11月19日至20日，罗马尼亚布加勒斯特

Nikolay Plusnin

俄罗斯FEB ras自动化与控制过程研究所

主题:Res. Rev. J Mat. science

DOI:10.4172 / 2321 - 6212 - c9 - 037

摘要

分析了过渡金属-硅接触在室温下形成的初始阶段的结果。雷竞技网页版接触是通雷竞技网页版过物理气相沉积形成的。在金属/硅化物的第一大块相形成之前的生长阶段，在硅衬底上检测和识别了金属/硅化物的纳米相润湿层(NWL)。通过作者开发的俄歇电子能谱(AES)和电子能量损失能谱(EELS)对表面/界面的结构化学和相态进行复杂分析的技术，可以检测和识别NWL。此外，这使得物理气相沉积(PVD)的低温方法的发展成为可能，并且通过这种方法在界面上没有混合的情况下形成金属-硅接触。雷竞技网页版NWL的检测从根本上改变了与硅衬底形成金属接触的方法。雷竞技网页版

传记

Nikolay Plusnin目前是俄罗斯符拉迪沃斯托克RAS FEB自动化与控制过程研究所的首席研究员。他已完成物理数学科学博士学位。主要研究方向为电子纳米材料及其结构相分析。曾任日本仙台东北大学客座教授。此外，他还是国际期刊电子期刊表面科学和纳米技术的顾问委员会成员。他发表了60多篇科学论文。他的研究得到了俄罗斯教育和科学部、科学院和政府的支持。

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