垂直方向lamella-forming嵌段共聚物薄膜与衬底通过控制界面交互

13^th先进材料与纳米技术国际会议

2017年10月26 - 28日期间,日本大阪

Jisoo哈

韩国延世大学

海报和接受抽象:启J垫。Sci >

DOI:10.4172 / 2321 - 6212 c1 - 009

文摘

垂直方向的嵌段共聚物(BCP) micro-domains已经收到关注下一代光刻技术和纳米技术。许多研究人员调查了各种技术来建立垂直纳米结构通过控制BCP电影和基体之间的界面相互作用。使用无规共聚物刷表面改性方法是广泛研究由于其简单性和有效性。End-functionalized无规共聚物链刷附着在基板通过缩合反应,形成共价键。在这项研究中,我们已经控制了底物之间的相互作用和嵌段共聚物涂层的硅晶片表面无规共聚物。在这些改良基质,polystyrene-b-poly(甲基丙烯酸甲酯)(PS-b-PMMA)薄膜与调整厚度和thermally-annealed spin-coated形成其平衡结构。我们观察到垂直方向的厚度窗口和评估适当的表面能参数范围修改。实验结果表明最优的表面改性以获得垂直取向的BCP nanopattern捏造。

传记

Jisoo Ha目前化学工程硕士学位的学生在延世大学,韩国。

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