制备氧化物半导体薄膜的透明电极螺旋波兴奋等离子体溅射方法

14^th在材料科学与工程国际会议和展览

2017年11月13 - 15,|拉斯维加斯,美国

Takumi和心Shizutoshi安藤

日本东京大学的科学

海报和接受抽象:启J垫。Sci >

DOI:10.4172 / 2321 - 6212 c1 - 012

文摘

硅(Si)的太阳能电池的市场份额超过90%,而且在这个市场扩张。然而,高纯度硅非常昂贵,供应短缺和价格波动的风险。最近,铜(In.Ga) Se2(香烟)吸引基于薄膜太阳能电池转换效率高的高效薄膜太阳能电池的下一代,取得了20%的最高转换效率。上电极材料基于CICS的太阳能电池广泛应用氧化锌:艾尔和需要低电阻率(在三分Ωcm)和光学透明透光率(大于80%)。此外,良好结晶度氧化锌的制备:铝薄膜的预计提高香烟为基础的太阳能电池的转换效率。在这项研究中,我们试图准备氧化锌:铝薄膜具有良好结晶度由螺旋波兴奋磁控溅射方法,旨在建立条件准备。氧化锌:铝薄膜结晶度由这种方法进行评估,光学透过率,通过x射线衍射(XRD)和厚度,记录分光光度计,针表面分析器。图1显示(a) x射线衍射模式和(b)氧化锌的光透过率光谱:铝薄膜准备在不同目标偏差电压。射频功率、衬底温度、沉积时间是400 W, 2000 c,分别和3小时。氧化锌:铝薄膜准备在-300 V展出的纤锌矿结构(α-ZnO),光学吸收边360海里(3.37 eV)和良好的光学透明度。

传记

Takumi Namba收到工程Bachelar从东京理科大学电气工程学位,在2016年日本东京。他现在是一个硕士课程的学生在东京大学研究生院工程科学。他的研究兴趣iclude氧化物复合薄膜太阳能电池的发展随着地球环保的新一代太阳能电池。

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