纳米技术电磁弹性驱动器的结构参数模型

金属、采矿和磁性材料国际会议

2018年11月1日至2日，法国巴黎

Sergey Mikhailovich Afonin

俄罗斯国立电子技术研究大学

海报和接受的摘要:垫子科学

摘要

目前，基于电磁弹性的电磁弹性致动器在纳米技术、纳米生物学、纳米力学、微电子学、自适应光学和激光系统中都有应用。压电致动器是一种基于压电效应的压电机械装置，用于驱动机构、系统或管理，将电信号转换为机械运动和力。压电致动器用于扫描隧道显微镜、扫描力显微镜和原子力显微镜。利用电磁弹性作动器波动方程的电磁弹性方程和电磁弹性作动器的矩阵方程的拉普拉斯变换解，并考虑作动器沿坐标轴的变形特征，可以建立作动器的广义结构参数模型，描述其动、静态特性。研究了电磁弹性作动器的几何参数和物理参数以及外部载荷对其动态特性的影响。建立了电磁弹性驱动器的结构参数模型、决策波动方程和矩阵方程;建立了其传递函数。确定了压电驱动器的静态和动态特性。为了计算纳米运动控制系统，给出了电磁弹性驱动器的广义参数结构原理图和传递函数。从压电器的结构参数化模型出发，得到了横向、纵向、位移压电效应的传递函数和压电器的参数化结构示意图。 The generalized structural-parametric model of the electromagnetoelastic actuator provides the determination of its transfer functions and uses the methods of the control theory for the static and dynamic characteristics of the electromagnetoelastic actuator for nanotechnology. From generalized structural-parametric model of the electromagnetoelastic actuator after algebraic transformations, we obtained the matrix transfer functions of the actuator.

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纳米技术电磁弹性驱动器的结构参数模型

金属、采矿和磁性材料国际会议2018年11月1日至2日，法国巴黎

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2018年11月1日至2日，法国巴黎